ความชื้นจำเพาะ (specific humidity) หรืออัตราส่วนความชื้น ( humidity ratio) คือ มวลของน้ำที่อยู่ในอากาศแห้ง 1 กิโลกรัม หรือ ปอนด์ มีหน่วยเป็น kg H2O/ kg dry air หรือ g H2O/ kg dry air ส่วนในหน่วยอังกฤษคือ lb H2O / lb dry air ในแผนภูมิไซโครเมทริก

อากาศที่จะใช้ทำแห้ง (dehydration) ควรมีความชื้นต่ำ อาจจะทำโดยการผ่านอากาศเข้าไปในฮีทเตอร์ก่อนท่ีจะเข้าไปในเครื่องทำแห้ง (drier) ภายหลังการอบแห้ง ความชื้นจำเพาะของอากาศจะเพิ่มสูงขึ้น เนื่องจากอากาศเป็นตัวกลางในการพาน้ำในอาหาร