ความชื้นจำเพาะ (specific humidity) หรืออัตราส่วนความชื้น ( humidity ratio) คือ มวลของน้ำที่อยู่ในอากาศแห้ง 1 กิโลกรัม หรือ ปอนด์ มีหน่วยเป็น kg H₂O/ kg dry air หรือ g H₂O/ kg dry air ส่วนในหน่วยอังกฤษคือ lb H₂O / lb dry air ในแผนภูมิไซโครเมทริก

อากาศที่จะใช้ทำแห้ง (dehydration) ควรมีความชื้นต่ำ อาจจะทำโดยการผ่านอากาศเข้าไปในเครื่องทำความร้อน (heater) ก่อนท่ีจะเข้าไปในเครื่องทำแห้ง (drier) ภายหลังการอบแห้ง ความชื้นจำเพาะของอากาศจะเพิ่มสูงขึ้น เนื่องจากอากาศเป็นตัวกลางในการพาน้ำในอาหาร